Silicon wafer bonding technology for VLSI and MEMS applications
- Författare
- (Editors, S.S. Iyer, A.J. Auberton-Herve)
- Språk
- Engelska

Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
---|---|---|---|---|
Institution of Electrical Engineers | 2001 | Storbritannien, London | 200p. : ill. 25cm | 0-85296-039-5 |